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      眾合科技(000925)
      產品與服務
      半導體領域

      眾合科技參股企業——新陽硅密(上海)半導體有限公司(以下簡稱“新陽硅密半導體”),由上海新陽半導體材料有限公司與硅密四新半導體技術(上海)有限公司于2016年4月重組成立。公司注冊資金7800萬元,擁有3000平米廠房面積,具備1000平米萬級潔凈車間及業內領先的半導體電鍍工藝專業級實驗室,并創建了行業領先的半導體晶圓級濕制程電鍍裝備及半導體濕法裝備與化學藥液一體化工藝服務平臺。

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      公司專注于半導體濕法制程電鍍設備及相關濕法裝備的研發、生產、銷售及服務,主要產品有InnovaSYS單晶圓電鍍設備、CleanSYS批次式清洗刻蝕設備等。



      服務案例:

      2  北京有研,整條清洗建線

      2  上海新傲,清洗工藝升級改造

      2  南京國盛,清洗工藝升級改造

      2  浙江金瑞泓,清洗工藝升級改造

      2  洛陽麥斯克,清洗工藝升級改造

      2  46所,清洗工藝升級改造

      2  TI CFAB DNS 820.C安裝及設備模組改造

      2  TI CFAB DNS 820.L安裝及設備模組改造

      2  TI CFAB SCP 9400 安裝及改造

      2  TI CFAB(43套)自動CO2檢測/滅火系統設計與改造

      2  BCD 12濕法設備安裝及改造,包括KAIJO,DNS,SEMITOOL

      2  GSMC Akrion/SCP 9400 Pre-Clean濕法設備安裝/改造

      2  GSMC Akrion/SCP 9400有機溶劑濕法設備安裝/改造

      2  BCD純水加熱系統安裝改造

      2  TSMC(9套)Kaijo及DNS自動CO2檢測/滅火系統設計與改造

      2  SIMBCD 5”升級為6”的整條線濕法設備項目

      2  IMECAS 5”升級為6”的整條線濕法設備項目

      2  華潤晶芯6”26臺濕法設備工藝交付

      2  上海貝嶺6”整條線濕法設備項目

      2  SMIC成都(TI)8”線移機項目

      2  Tech Semiconductor移機項目

      2  TSMC從Atmel(England)移機的濕法設備移機項目

      2  臺積電DNS濕法設備SOM改SPM設備模組改造

      2  SK Hynix WuXi(4套)自動CO2檢測/滅火系統設計與改造

      2  中芯FAB1全部E200濕法設備安裝及工藝調試

      2  CSMC KAIJO有機溶劑濕法設備兆聲波機加熱器改造

      2  SKY SILICON DNS 820.C設備模組改造

      2  SMIC 7臺12寸JET BW3000 PRStrip移機及工藝調試項目

      2  士蘭3臺12寸JET BW3000 PR Strip翻新機項目

      2  GSMC SEMITOOL有機溶劑濕法設備安裝/自動CO2滅火系統

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